製品情報
エアシャワー
クリーンルームの出入り口に設置し、外部からのじん埃などの侵入を防止する機器です。同時に、クリーンルームと外部をエアロックする効果もあります。
フィルターユニット
天井面や壁面に設置します。室内に清浄空気を吹き出すことにより、コンベンショナル方式の、クラス100～100,000程度のクリーンルームを容易に得ることができます。
パスボックス
クリーンルーム内の陽圧もれや、外部からのじん埃の侵入を防ぎます。外部を区切る壁面などに取付け、小型の物品や機材、製品などの出し入れを行います。
ファン付フィルターユニット
フィルターユニットの送風機内蔵式です。